填空题
圆筒式等离子刻蚀的（），适用于（）工艺；反应离子刻蚀，（），可以用通入不同的工艺气体，实现好的选择性，适合于对（）和（）的刻蚀。
【参考答案】
方向性差，刻蚀速率慢，过刻蚀性能好；去胶；方向性好，刻蚀速率高；SiO2、Al、Si3N4；多晶硅
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