单项选择题
A.金属B.半导体C.绝缘体D.有机物
A.干法刻蚀B.湿法刻蚀C.激光刻蚀D.声波刻蚀
A.高温高压B.高湿度C.无尘无菌D.强磁场
A.清洁刻蚀腔B.更换零部件C.校准仪器D.以上都是
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