微波等离子体包括电容耦合微波等离子体（CMP）和诱导微波等离子体（MI P），常用微波频率为（），主要优点是激发能力强，以He 为工作气体时，可以测定包括卤素在内的几乎所有元素，有很好的检出限。

A.450MHz
B.1000MHz
C.1450MHz
D.2450MHz