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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 集成电路制造工艺员 > 集成电路制造工艺员(三级)

单项选择题

为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。

A.液氮冷阱
B.净化阱
C.抽气阱
D.无气泵

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