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一般情况下，与湿法刻蚀相比，干法刻蚀具有较高的选择比。
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判断题
湿法刻蚀的选择性比干法刻蚀好。
判断题
湿法刻蚀设备简单，成本低，生产效率较高。
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各向异性腐蚀是指刻蚀因子特别小。
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