硅的湿法刻蚀腐蚀液为热磷酸，干法刻蚀所用的气体为NF3

【参考答案】

硅的湿法刻蚀通常使用热磷酸（H3PO4）作为腐蚀液。热磷酸在一定温度下可以有效地刻蚀硅材料，而且它对硅的选择性较高，即它......

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