未知题型
当高能离子进入到硅片后，由于碰撞作用，使晶格原子离开原来的位置，出现晶格损伤。
【参考答案】
当高能离子进入硅片后，它们会与硅原子发生碰撞，这种碰撞可以传递能量给硅原子。如果传递的能量足够大，硅原子就会获得足够的动......
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