未知题型
简述MOCVD制备功能薄膜的原理（5分） 说说MOCVD在制备LED时，应该控制哪些参数（5分）
【参考答案】
MOCVD制备功能薄膜的原理（5分）MOCVD（金属有机化学气相沉积）是一种用于制备高质量、均匀、大面积功能薄膜材料的技......
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