单项选择题
在Si中注入P+，能量为100KeV，剂量是10∧13离子/cm∧2，查表可知Rp≈0.12μm，ΔRp=0.042μm，峰值浓度是多少？在0.2μm处杂质浓度是多少？
A.5×10∧17离子/cm；B.2μm处杂质浓度是3.7×10∧17离子/cm∧2；
C.5×10∧13离子/cm∧2；
D.2μm处杂质浓度是3.7×10∧13离子/cm∧2。
点击查看答案&解析
单项选择题
微信扫一扫,加关注免费搜题