未知题型
干法刻蚀的方式主要有:溅射刻蚀、等离子体刻蚀、 刻蚀三种。(写文字)
【参考答案】
干法刻蚀的方式主要有:物理溅射刻蚀、化学等离子体刻蚀、反应离子刻蚀三种。
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