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未知题型

为了防止铝互连过程中,铝硅出现肖特基接触,常常在电极引出部分采__________掺杂。

【参考答案】

为了防止铝互连过程中,铝硅出现肖特基接触,常常在电极引出部分采用**重掺杂**。在半导体制造过程中,为了避免铝和硅之间形......

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