未知题型
单晶硅刻蚀一般采用 做掩蔽层。（在下面选择一个，填入） 光刻胶、金属、二氧化硅、多晶硅
【参考答案】
二氧化硅单晶硅刻蚀过程中，通常使用二氧化硅作为掩蔽层。二氧化硅具有良好的化学稳定性，可以抵抗大多数刻蚀剂对硅的刻蚀作用，......
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