名词解释
是在真空室内，加热蒸发容器中待形成薄膜的源材料，使其原子或分子从表面汽化逸出，形成蒸气流，入射到固体（称为衬底、基片或基......
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凝结系数
名词解释凝结系数
气体分子的平均自由程
名词解释气体分子的平均自由程
气体分子的速度具有很大的分布空间。温度越高、气体分子的相对原子质量越小，分子的平均运动速度越快。
判断题气体分子的速度具有很大的分布空间。温度越高、气体分子的相对原子质量越小，分子的平均运动速度越快。
