气体分子的速度具有很大的分布空间。温度越高、气体分子的相对原子质量越小，分子的平均运动速度越快。

薄膜的组织结构是指它的结晶形态，其结构分为四种类型：无定形结构，多晶结构，纤维结构，单晶结构。

判断题薄膜的组织结构是指它的结晶形态，其结构分为四种类型：无定形结构，多晶结构，纤维结构，单晶结构。

表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。

判断题表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。

在气体成分和电极材料一定条件下，起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。

判断题在气体成分和电极材料一定条件下，起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。