目前，最广泛使用的退火方式是（）。

损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。A.能量淀积B.动量淀积C.能量振荡D.动量振荡

单项选择题损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。A.低温注入B.常温注入C.高温注入D.分子注入E.双注入

多项选择题哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。

下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。A.注入离子的质量B.靶的种类C.注入温度D.注入速度E.注入剂量

多项选择题下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。