问答题
掺杂的过程可通过调整杂质剂量及能量来精确控制杂质分布，可进行小剂量和极小深度的掺杂较低的工艺温度，故光刻胶可用作掩膜可供......
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掺杂的目的是什么？掺杂在何时进行？惨杂方法有哪几种？
问答题掺杂的目的是什么？掺杂在何时进行？惨杂方法有哪几种？
什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？
问答题什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？
什么是刻蚀？
问答题什么是刻蚀？
