问答题
如果一个掩膜版，其石英板上大部分被铬覆盖，它就指的是暗场掩膜版。亮场掩膜版有大面积的透明的石英，而只有很细的铬图形。
描述投影掩膜版和光掩膜版的区别？
问答题描述投影掩膜版和光掩膜版的区别？
什么是LOCOS和STI（写中英文全称），为什么在高级IC中STI取代了LOCOS，列举STI的工艺步骤。
问答题什么是LOCOS和STI（写中英文全称），为什么在高级IC中STI取代了LOCOS，列举STI的工艺步骤。
解释HDPCVD中同步沉积和刻蚀。典型深宽比的值是什么？
问答题解释HDPCVD中同步沉积和刻蚀。典型深宽比的值是什么？
