问答题
检查mask、靶材，清理密封圈及主仓，再检查预抽泵油位。
溅镀机短路，怎样解决？
问答题溅镀机短路，怎样解决？
7.0盘片干燥不好，由哪些因素造成的？如何解决？
问答题7.0盘片干燥不好，由哪些因素造成的？如何解决？
8.0UV灯不亮怎么办？
问答题8.0UV灯不亮怎么办？
