离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。

离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。

判断题离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。

离子注入是一个物理过程，不发生化学反应。

判断题离子注入是一个物理过程，不发生化学反应。

离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。

判断题离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。