在线使用的靶材主要有（）。

需要监控的参数包括（）。A.膜的晶粒B.膜的厚度C.膜的均匀性D.膜的反射率

多项选择题需要监控的参数包括（）。

PVD有哪些种类？（）A.蒸镀B.溅镀C.电镀D.焊镀

多项选择题PVD有哪些种类？（）

AlSi合金中含Si比例一般为（）。A.1%B.3%C.5%D.7%

单项选择题AlSi合金中含Si比例一般为（）。