单项选择题
A.1%B.3%C.5%D.7%
CVD TiN TDMAT的载气是（）。A.HeB.ArC.N2D.O2
单项选择题CVD TiN TDMAT的载气是（）。
A.HeB.ArC.N2D.O2
蒸发台真空度的要求一般（）。A.≤9E-7torrB.≥9E-7torrC.≤9E-5torrD.≥9E-5t...
单项选择题蒸发台真空度的要求一般（）。
A.≤9E-7torrB.≥9E-7torrC.≤9E-5torrD.≥9E-5torr
溅射中用于轰击靶材的气体是（）。A.ArB.HeC.N2D.O2
单项选择题溅射中用于轰击靶材的气体是（）。
A.ArB.HeC.N2D.O2
