问答题
①目的：A.修复晶格损伤B.注入杂质电激活：注入的杂质多以填隙式方式存在于硅中，无电活性。退火，......
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简述离子注入的原理？
问答题简述离子注入的原理？
为什么要引入离子注入技术，离子注入技术有哪些优势？
问答题为什么要引入离子注入技术，离子注入技术有哪些优势？
影响扩散速率的因素有哪些？
问答题影响扩散速率的因素有哪些？
