降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。

晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。A.极大值B.极小值C.既不极大也不极小...

单项选择题晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。A.等离子体B.不等离子体C.正离子体D.液电流

单项选择题离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。A.砷化氢B.二硼化氢C.三氟化硼D.硅烷E.氧气

多项选择题离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。