电子束光刻分辨率高，效率低。

前烘也叫软烘。

判断题前烘也叫软烘。

晶圆具有各向异性特点，切片时要按照一定的方向进行。

判断题晶圆具有各向异性特点，切片时要按照一定的方向进行。

晶向的单晶硅锭有四根或八根对称的棱线。

判断题<100>晶向的单晶硅锭有四根或八根对称的棱线。