判断题
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磁分析器之所以能挑选离子,是利用了不同荷质比的离子在磁场中受劳伦兹力大小不同,偏转角度不同的原理。
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热扩散掺杂工艺可以一步实现。
判断题热扩散掺杂工艺可以一步实现。
把硅片对离子注入的方向倾斜30度可抑制通道效应。
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