解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。

电阻丝加热蒸发可以淀积难熔金属。

判断题电阻丝加热蒸发可以淀积难熔金属。

软烘又叫前烘，该工序仅可在烘箱中进行。

判断题软烘又叫前烘，该工序仅可在烘箱中进行。

KOH水溶液可作为正胶显影液。

判断题KOH水溶液可作为正胶显影液。