问答题
工作介质（固体或气体）受光泵激发后辐射产生的加强光，经光学系统聚焦至几十至几微米的绩效光斑，获得极高的能量密度，依靠光热......
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LIGA技术
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光刻技术
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简述微型机械加工技术的关键技术
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