名词解释
与扩散实在较低温度下，采用恒定表面源扩散方式，在硅片表面扩散一层数量一定按余误差函数形式分布的杂质，由于温度较低，且时间......
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两步法扩散
名词解释两步法扩散
有限表面源扩散
名词解释有限表面源扩散
分凝系数
名词解释分凝系数
