判断题
正确
CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。
判断题CVD淀积二氧化硅的原理跟热氧化相同。
下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）A.化学汽相沉淀法B.原子层沉淀法C.水汽氧化D.氢氧合成氧化
多项选择题下列方法属于热氧化制备二氧化硅的方法是（）
A.化学汽相沉淀法B.原子层沉淀法C.水汽氧化D.氢氧合成氧化
关于热氧化速率，说法正确的是（）A.温度越高，速度越快B.压力越大，速率越快C.水汽氧化最慢，干氧氧化最快D....
多项选择题关于热氧化速率，说法正确的是（）
A.温度越高，速度越快B.压力越大，速率越快C.水汽氧化最慢，干氧氧化最快D.掺杂浓度越高，速率越快
