单项选择题
A.剧毒 B.无毒 C.低毒 D.中毒
要保证退火炉内的露点要求，纯化后的氮气的露点要小于（）。A.0℃B.-30℃C.-60℃D.－50℃
单项选择题要保证退火炉内的露点要求，纯化后的氮气的露点要小于（）。
A.0℃ B.-30℃ C.-60℃ D.－50℃
还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。A.越快B.越慢C.无变化
单项选择题还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。
A.越快 B.越慢 C.无变化
还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。A.微正压B.微负压C.与外界等压
单项选择题还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。
A.微正压 B.微负压 C.与外界等压
