问答题
SAB：Salicide block, 用于保护硅片表面，在RPO (Resist Protect Oxide) 的保......
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为何在离子注入后， 需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？
问答题为何在离子注入后， 需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？
简述Spacer的主要功能？
问答题简述Spacer的主要功能？
何谓Spacer? Spacer蚀刻时要注意哪些地方？
问答题何谓Spacer? Spacer蚀刻时要注意哪些地方？
