105J透平转数厂控指标是≤（）RPM。

蒸汽SiO2厂控指标为≤（）ug/L。

填空题蒸汽SiO₂厂控指标为≤（）ug/L。

二段出口CH4含量厂控指标为≤（）。

填空题二段出口CH₄含量厂控指标为≤（）。

甲烷化出口微量厂控指标是≤（）ml/m3。

填空题甲烷化出口微量厂控指标是≤（）ml/m³。