填空题
物料需求计划；制造资源计划；完全按用户需求制造
柔性制造系统的组成包括：（），（），信息控制系统和一套计算机控制系统。
填空题柔性制造系统的组成包括：（），（），信息控制系统和一套计算机控制系统。
工业机器人一般由机械系统，（），（）和（）等几个部分组成。
填空题工业机器人一般由机械系统，（），（）和（）等几个部分组成。
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
填空题微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
