问答题
①把所需图形在晶圆表面上定位或对准②通过曝光灯或其他辐射源将图形转移到光刻胶涂层上对准原则:......
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简述光刻胶的分类,谈谈正胶和负胶的区别。
问答题简述光刻胶的分类,谈谈正胶和负胶的区别。
列出光刻工艺的十个步骤,并简述每一步的目的。
问答题列出光刻工艺的十个步骤,并简述每一步的目的。
光刻技术的图形转移分为哪两个阶段?
问答题光刻技术的图形转移分为哪两个阶段?