问答题
①表面准备：清洁和干燥晶圆表面②涂光刻胶：在晶圆表面均匀涂抹一薄层光刻胶③软烘培：加热，部分蒸发......
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光刻技术的图形转移分为哪两个阶段？
问答题光刻技术的图形转移分为哪两个阶段？
什么叫做光刻，光刻有何目的？
问答题什么叫做光刻，光刻有何目的？
说明金属CVD的优势和主要用途。
问答题说明金属CVD的优势和主要用途。
