真空系统最忌讳油污，但不怕水气。

PVD是指化学气相沉积。

判断题PVD是指化学气相沉积。

Cryo pump（冷冻泵浦）必须定期通入N2做再生之用。

判断题Cryo pump（冷冻泵浦）必须定期通入N₂做再生之用。

机台保养时发现膜层太厚，直接以尖锐物刮除即可。

判断题机台保养时发现膜层太厚，直接以尖锐物刮除即可。