名词解释
保形覆盖是指无论衬底表面有什么样的倾斜图形在所有图形的上面都能沉积有相同厚度的薄膜。
横向扩散
名词解释横向扩散
恒定表面源扩散
名词解释恒定表面源扩散
有限表面源扩散
名词解释有限表面源扩散
