问答题
短沟道效应主要是指阈值电压与沟道相关到非常严重的程度，或者沟道长度减小到一定程度后出现的一系列二级物理效应统称为短沟道效......
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LOCOS工艺的特点是什么？“鸟嘴”效应的危害是什么？有无避免方法？
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有哪些化学气相沉积的方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？
问答题有哪些化学气相沉积的方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？
有哪些物理沉积的薄膜方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？
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