简答题 有哪些物理沉积的薄膜方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？

什么是leftoff技术？优点和缺点是什么？

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MOS管的开启电压有那些因素决定？

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简述光学光刻机的分辨率的计算。

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