问答题
工序目的：去除表面因加工应力而形成的损伤层及污染
硅片表面吸附杂质清洗顺序是什么？
问答题硅片表面吸附杂质清洗顺序是什么？
硅片表面吸附杂质的存在状态有哪些？
问答题硅片表面吸附杂质的存在状态有哪些？
与Al布线相比，Cu布线有何优点？
问答题与Al布线相比，Cu布线有何优点？
