问答题
被吸附杂质的存在状态：分子型、离子型、原子型
与Al布线相比，Cu布线有何优点？
问答题与Al布线相比，Cu布线有何优点？
什么是低K材料？
问答题什么是低K材料？
简述硅单晶研磨清洗的重要性。
问答题简述硅单晶研磨清洗的重要性。
