问答题
①器件保护（避免划伤和污染），因sio2致密；②表面钝化（饱和悬挂键，降低界面态；需一......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
问答题STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
描述金属复合层中用到的材料？
问答题描述金属复合层中用到的材料？
为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺？更小的栅长会引发什么问题？
问答题为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺？更小的栅长会引发什么问题？
