多项选择题
A.电阻丝加热蒸发B.电子束蒸发C.金属蒸发D.离子束蒸发
X射线有可能获得更高的分辨率是因为（）A.波长更短B.波长更长C.频率更高D.频率更低
多项选择题X射线有可能获得更高的分辨率是因为（）
A.波长更短B.波长更长C.频率更高D.频率更低
电子束光刻的特点是（）A.分辨率高B.速度快C.效率低D.受光波长限制
多项选择题电子束光刻的特点是（）
A.分辨率高B.速度快C.效率低D.受光波长限制
EUV技术难点有（）A.所有设备均需工作在高真空环境下B.靶材的使用寿命较低C.难以找到合适的光刻胶D.光源功...
多项选择题EUV技术难点有（）
A.所有设备均需工作在高真空环境下B.靶材的使用寿命较低C.难以找到合适的光刻胶D.光源功率较低
