驻波效应破坏了光刻胶图形侧壁的垂直性，也导致光刻胶CD测量的不稳定。

硅片边缘匀胶后出现毛边异常，是因为EBR药液量不足。

判断题硅片边缘匀胶后出现毛边异常，是因为EBR药液量不足。

在产品加工过程中，除了光刻工序外，其他工序是不允许返工的。

判断题在产品加工过程中，除了光刻工序外，其他工序是不允许返工的。

AL刻蚀从设备中出腔的时候会有光刻胶。

判断题AL刻蚀从设备中出腔的时候会有光刻胶。