单项选择题
A.刻蚀精度高 B.刻蚀速度高 C.运营成本低 D.更环保
CVD设备中内部有Robot的设备是（）A.Process ChamberB.Transfer Chamber...
单项选择题CVD设备中内部有Robot的设备是（）
A.Process Chamber B.Transfer Chamber C.DSSL D.Scrubber
CVD中主要进行镀膜的设备是（）A.Process ChamberB.Transfer ChamberC.DS...
单项选择题CVD中主要进行镀膜的设备是（）
CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）A.NB.HC.SiD.O
单项选择题CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）
A.N B.H C.Si D.O
