问答题
低K材料：介电常数比SiO2低的介质材料
简述硅单晶研磨清洗的重要性。
问答题简述硅单晶研磨清洗的重要性。
切片可决定晶片的哪四个参数？
问答题切片可决定晶片的哪四个参数？
将硅单晶棒制成硅片的过程包括哪些工艺？
问答题将硅单晶棒制成硅片的过程包括哪些工艺？
