问答题
一般包含下面几道步骤：①光刻（Photo）及图形的形成；②离子注入调整；③离子注入完......
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一般的阱区离子注入调整电性可分为那三道步骤？ 功能为何？
问答题一般的阱区离子注入调整电性可分为那三道步骤？ 功能为何？
在STI的形成步骤中有一道liner oxide（线形氧化层）， liner oxide 的特性功能为何？
问答题在STI的形成步骤中有一道liner oxide（线形氧化层）， liner oxide 的特性功能为何？
在STI的刻蚀工艺过程中，要注意哪些工艺参数？
问答题在STI的刻蚀工艺过程中，要注意哪些工艺参数？
