ULVAC 的RF 电源使用的高频是（）。

检漏仪里标准漏孔的作用是（）。A.灵敏度校正B.检漏仪性能确认C.压力确认D.漏率检测

多项选择题检漏仪里标准漏孔的作用是（）。

RF 电源适用的设备是（）。A.CVDB.EtChingC.AshingD.Cleaning

多项选择题RF 电源适用的设备是（）。

RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？A.放电不稳定B.匹配不稳定C.Pr ...

多项选择题RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？