问答题

简答题 常用的CVD哪几种?说明各自的优缺点以及应用领域。

【参考答案】

(1)常压化学气相淀积,这种工艺所需的系统简单,反应速度快,并特别适于介质淀积,但是它的缺点是均匀性较差,气体消耗量大,......

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