问答题
温度、气体分压、硅晶向、掺杂
热氧化工艺有哪些？
问答题热氧化工艺有哪些？
氧化硅的主要作用有哪些？
问答题氧化硅的主要作用有哪些？
SiO2中杂质有哪些类型？
问答题SiO2中杂质有哪些类型？
